聚焦离子束FIB
电子光学
NICol非浸没式超高分辨率场发射扫描镜筒,配有:
• 高亮度肖特基场发射电子抢,用于提供稳定的高分辨率分析电流
• 60度双物镜透镜,支持倾斜的样品
• 全自动加热式光阑,可确保清洁和无接触式更换光阑孔
• 连续电子束电流控制和优化的光阑角度
• 电子枪安装和维护简单-自动烘烤,自动启动,无需机械合轴
• 双物镜透镜,结合电磁透镜和静电透镜
• 两级扫描偏转
• 双物镜透镜,结合电磁透镜和静电透镜
• 电子源寿命至少24个月
电子束分辨率
在好的工作距离下
• 30keV下 STEM 0.7nm
• 1keV 下 1.4nm 15keV下1nm
• 1keV下 电子束减速模式 1.2nm