产品展示

酸开封机Decap

一  优点:

- 创新的软件

- 动态刻蚀时间调节

- 多酸冲洗选项

- 占地面积小

酸开封机Decap

产品简介:

RKD生产的Elite Etch是一台自动混酸开封机,通过整合了先进的特点使得它可以获得更高的产能。新开封机的设计通过将硝酸、硫酸或混酸精确分配到器件上,可以更加快速和容易的打开最精细的封装,而不会损伤样品。 

RKD Elite Etch 酸开封机内包含了众多工程创新。整体式刻蚀头组件是由高等级的碳化硅加工而成,可以非常卓越的用来抵抗酸腐蚀。再加上主动氮气监测和清洗系统,这一整体设计可以在刻蚀后降低残留在刻蚀头上酸的发烟。

系统规格参数:

开封机尺寸

190 x 318 x 305 mm (W x D x H)

瓶子组件尺寸

254 x 127 x 279 mm (W x D x H)

重量

大约35lbs.(16 Kg)

气体压力

55 - 70 psi. (N2) or CDA

电源

90 - 250 VAC

酸温度范围

20℃- 250℃

酸温度设定值

1.0℃- 0.1℃

刻蚀腔(可高达)

22 x 22 mm

软件操作规格:

酸的选择 :发烟硫酸/发烟硝酸/混酸。

注意: 所有混合比例都是在泵系统内部动态准备的。

混酸比例 (硝酸到硫酸比例): 9:1, 5:1, 4:1, 3:1, 2:1, 1:1。

刻蚀后冲洗选择:发烟硫酸/发烟硝酸/混酸/无冲洗。

注意: 酸的冲洗温度设定是根据刻蚀温度自动校准的。

刻蚀时间: 1 - 1,800 seconds ( 1秒的增加幅度)。

注意: 刻蚀时间能够在刻蚀期间动态调整。 

刻蚀形式 :(i) 脉冲刻蚀   (ii) 往复刻蚀 。

刻蚀温度范围 :20℃- 90℃ (硝酸) /20 - 250℃(硫酸) /20 - 100℃ (混酸)。

刻蚀剂流量选择:1 - 6 ml.每分钟(所有酸和混酸)。

操作程序存储 :100 个程序存储,非易丢失存储器。

软件升级:通过RS232或USB连接电脑。

安全设计特点:

EMO紧急停电源开关。

刻蚀头安全:超温保护传感器电路

泄露检查传感器:   (i) 开封机主体;(ii) 酸瓶盒组件。

二级防护:真正的二级防护。

酸烟雾降低:废酸热交换以最小化酸烟雾。

认证和 &行业规范:

RoHS    CE    SEMI S-2    SEMI S- 2, 93。 


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