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微光显微镜EMMI(P-100)

EMMI测试系统又名光发射显微镜,是器件失效分析中漏电定位的重要工具。P-100 EMMI测试系统是仪准科技自有品牌,进入中国已经有15年之久。目前国内拥有三安光电、中兴通讯、智芯微电子、欧司朗、东南大学、北京航空航天大学、北京772所、MPS、乐山菲尼克斯、深圳明微、国家软件测评中心等几十家知名客户。


微光显微镜EMMI(P-100)

产品简介:

EMMI测试系统又名光发射显微镜,是器件失效分析中漏电定位的重要工具。P-100 EMMI测试系统是仪准科技自有品牌,进入中国已经有15年之久。目前国内拥有三安光电、中兴通讯、智芯微电子、欧司朗、东南大学、北京航空航天大学、北京772所、MPS、乐山菲尼克斯、深圳明微、国家软件测评中心等几十家知名客户。

具体规格如下:

Si探测器

采集晶片

硅制成芯片

像素

1024  × 1024 pixel

像素尺寸

13 微米  × 13 微米

晶片尺寸

13.3毫米 × 13.3 毫米

噪音

6 electrons rms

冷却方式

空气冷却+水冷

探测器晶片降温

-70°C

冷却时间

20分钟(常温至-70°C)

InGaAs探测器

采集晶片

铟砷华镓制成晶片

像素

640*512 pixel

像素尺寸

20 微米

图像范围

12.8 x 10.24 毫米

冷却方式

电制冷+水冷

探测器晶片降温

-70°C

冷却时间

20分钟(常温至-70°C)

探针台

尺寸

6、8、12寸单双面探针台可选

耐压范围

3000V以下可选

耐力范围

直流10A以内;脉冲40A以内可选

探针座移动精度

0.7微米

主机台

移动方式

电控移动

X-Y-Z移动范围

50*50*70毫米(z轴移动100毫米选配)

X-Y移动精度

1微米

Z移动精度

0.2微米

光学显微镜

品牌

日本三丰

目镜

10X一对

物镜

2.5x,5x,20x,50x(100x选配)

其它

屏蔽箱

关门自动切断光源,内部处于暗场环境

减震台

97%@10HZ

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