产品展示

阻抗变化显微镜TIVA

一 、漏电定位手段有三种

1、侦测光子(EMMI)

2、激光刺激侦测阻抗变化(TIVA&VBA)

3、侦测热(Thermal)


阻抗变化显微镜TIVA

产品简介:

Semicaps是一家世界很好的芯片漏电定位设备制造商,公司产品涵括正置、倒置、静态、动态各种应用的机型,世界TOP50的半导体公司几乎都是他的客户。在Lock in信号增强技术和SIL镜头(纳米线宽侦测)技术领域,至今无人超越。2013年Semicaps和仪准合作正式进入中国,凭借着产品的先进性、合理的价格以及完善的售后服务体系,迅速得到中国广大客户的认可。

具体规格如下:

硅Si探测器

采集晶片

硅制成芯片

像素

1024  × 1024 pixel

像素尺寸

13 微米  × 13 微米

晶片尺寸

13.3毫米 × 13.3 毫米

噪音

6 electrons rms

冷却方式

空气冷却+水冷

探测器晶片低降温

-70°C

冷却时间

20分钟(常温至-70°C)

InGaAs探测器

采集晶片

铟砷华镓制成晶片

像素

640*512 pixel

像素尺寸

20 微米

晶片尺寸

12.8 x 10.24 毫米

冷却方式

电制冷+水冷

探测器晶片低降温

-70°C

冷却时间

20分钟(常温至-70°C)

Thermal探测器

晶片类型

MCT

像素

640  × 512 pixel

像素尺寸

15 微米

晶片尺寸

9.6 mm x 7.68 mm

冷却方式

Stirling cooled

探测器晶片低降温

80k

TIVA模块

激光部分

激光能量:500毫瓦
激光波长:1340纳米
扫描像素:高2048*2048 pixel
Laser Pulsing 功能:灵敏度提升9倍

电流源部分

配置Keithely2450规格如下:
电压范围:+-200V
电压分辨率:500nV
电流范围:小于等于1A
电流分辨率:10fA
也可以外接客户B1500、B1505、4200等测试仪

主控台

移动方式

电脑+手摇杆双控制

X-Y-Z移动范围

50*50*100 毫米

X-Y移动解析度

0.1微米

Z移动解析度

0.02微米

光学显微镜

品牌

Semicaps定制

目镜

10X一对

物镜

2.5x,10x,20x,HR50x(100x选配)

探针台

尺寸

8寸单双面探针台、12寸单面探针台可选

耐压范围

3000V以下可选

耐力范围

直流10A以内;脉冲40A以内可选

探针座移动精度

0.7微米

减震台

减震方式

大理石+减震气囊双防震系统

减震效果

95%@10Hz


返回
微信扫一扫
24免费服务热线

021-34638926

ADVANCED

仪  准  科  技