产品展示

经济型6寸探针台MPW-600

● Failure analysis 集成电路失效分析           

● Wafer level reliability 晶元可靠性认证

● Device characterization 元器件特性量测     

● Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析)

● IC Process monitoring 制成监控         

● Package part probing IC封装阶段打线品质测试

● ESD&TDR testing  ESD和TDR测试                      

● Microwave probing 微波量测(高频)

● Solar太阳能领域检测分析                              

● LED、OLED、LCD领域检测分析

经济型6寸探针台MPW-600

参数列表如下:

项 目

性能指标

备注

可测圆片尺寸

4,6 inch

 

X、Y工作台

行程

X/Y:6 inch x 6 inch

 

分辨率

1μm

 

控制

进口导轨

 

CHUCK

平面度

≤10μm

背面需要加电极(可选)

晶圆固定方式

真空吸附,分档控制

Chuck Z轴(可选)

行程

10mm

 

分辨率

1μm

 

Chuck θ轴(可选)

微调范围

±7 º (分辨率为0.1°)

 

Platen 平台

材料

非抛光型不锈钢+特种铝合金制

 

容量

4个DC针座或者2个RF针座

 

上、下片

方式

手动

 

行程

90 mm

 

显微镜

配置

(1)体式显微镜:
     目镜:20X
     变倍范围:0.75X-5X
     总放大倍数:15x-100x
     LED 光源照明
     金相显微镜
     目镜:20x
     Zoom:1-2x
     物镜:2x,10x,20x,50x
     总放大倍数:20x-1000x
     光纤光源系统

根据客户测试参数要求而定

行程

X/Y:2 inch x 2inch (分辨率:1um)
   Z: 2inch

 

抬起功能

显微镜可抬起,便于更换镜头,抬起后可以锁定,保证不会掉下,导致损毁。

 

屏蔽罩(可选)

L800*W600*H1100mm

 

防震桌(可选)

W*D*H:1100*800*900mm


可选附件:

● 射频测试探头及电缆      ● 有源探头      ● 低电流/电容测试      ● 高压模块      ● 激光修复       ● 高清数字相      ● 探针卡/封装/PCB板夹具      ● Hot Chuck

兼容测试仪器 :

● 各种型号示波器      ● 各种品牌型号的源表      ● 安捷伦B1500、4155、4156      ● Keithley 4200      ●各品牌的网络分析仪 


MPW-600 探针台安装环境要求

A 操作环境要求:

1

环境温度:18-28°C

2

相关湿度:20%-60%

3

现场要求 :水平地板且足够承受设备重量
      最小的机械震动
      通风良好且无阳光直射
      靠近电源设备
      切勿靠近易爆、有毒气体

4

抗震要求:使用耐震装置

B 设备要求:

5

电源

系统: 无

配件: • 100-240V 交流额定值,50/60 Hz

           • 真空泵:AC115V/60HZ,14W,0.31A或AC230V/50/60HZ,15/14W,0.18/0.16A

           • 空压机:220V/50HZ,额定电流2.8A,输出功率580W

           • CCD:输入100-240V/50/60HZ,额定电流0.31A;输出12V/1.0A

           • 显微镜光源:AV100-240V,50/60HZ,1.5A


6

电脑

CCD图像显示需要提供电脑主机,USB接口需要支持2.0以上;或者提供带HDNI接口的显示屏。

7

压缩空气

空气要求

气压

露点

流量

连接器外径

洁净、干燥、无油(防震台用)

0.4-0.6 MPa (58-87 psi)

/

/

6mm

8

真空

/

<400mbar absolute,-610mbar gage

/

5 l/min(0.18 CFM)at SATP

6mm

C 运输和安装要求:

9外形尺寸物理尺寸(WxDxH)500mm宽* 600mm长* 700mm高(含显微镜)
屏蔽箱:800mm长*600mm宽*1100mm高
防震桌:1200mm长*800mm宽*800mm高
货运尺寸(WxDxH)探针台及配件货箱:980 x 840 x 900mm
屏蔽箱货箱:950 x 750 x 1150mm
防震桌货箱:1200 x 810 x 720mm
10重量探针台重量50 kg 
货运重量(带包装)探针台及配件货箱:80 kg 
屏蔽罩(带防震台):300kg



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