产品展示

12寸探针台PW-1200

● Failure analysis 集成电路失效分析           

● Wafer level reliability 晶元可靠性认证

● Device characterization 元器件特性量测     

● Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析)

● IC Process monitoring 制成监控         

● Package part probing IC封装阶段打线品质测试

● ESD&TDR testing  ESD和TDR测试                      

● Microwave probing 微波量测(高频)

● Solar太阳能领域检测分析                              

● LED、OLED、LCD领域检测分析

12寸探针台PW-1200

参数列表如下:

项      目

性能指标

备注

可测圆片尺寸

4,6 ,8,12 inch


X、Y工作台

行程

X/Y:12 inch x 12 inch


分辨率

1μm


控制

进口导轨


气浮装置

大范围快速移动(气浮控制旋钮)


CHUCK

平面度

≤10μm

背面需要加电极(可选)

晶圆固定方式

真空吸附,分档控制

Chuck Z轴(可选)

行程

10mm


分辨率

1μm


Chuck θ 轴(可选)

微调范围

± 7º (分辨率为0.1°)


Platen 平台

材料

非抛光型不锈钢+特种铝合金制


容量

6-8个DC针座或者4个RF针座


微调旋钮

     分辨率为1um
     移动范围为25mm
     导轨式移动


接触分离

 8mm的接触分离抬杆,可锁定
 重复度精度为±2um


上、下片

方式

手动


行程

90mm


显微镜

配置

(1)体式显微镜
     目镜:20X
     变倍范围:0.75X-5X
     总放大倍数:15x-100x
     LED 光源照明

  1. 金相显微镜

       目镜:20x
       Zoom:1-2x
       物镜:2x,10x,20x,50x
       总放大倍数:20x-1000x
       光纤光源系统

根据客户测试参数要求而定

行程

X/Y:2 inch x 2inch (分辨率:1um)
    Z: 2inch


气动升降

显微镜气动升降,便于更换镜头


屏蔽罩(可选)

L1350*W900*H1300mm


防震桌(可选)

W*D*H:1100*800*900mm


可选附件:

● 射频测试探头及电缆      ● 有源探头      ● 低电流/电容测试      ● 高压模块      ● 激光修复      ● 高清数字相       ● 探针卡/封装/PCB板夹具      ● Hot Chuck

兼容测试仪器

● 各种型号示波器      ● 各种品牌型号的源表       ● 安捷伦B1500、4155、4156     ●Keithley 4200       ● 各品牌的网络分析仪

PW-1200 探针台安装环境要求:

A 操作环境要求:

1

环境温度:18-28°C

2

相关湿度:20%-60%

3

现场要求 :水平地板且足够承受设备重量
      最小的机械震动
      通风良好且无阳光直射
      靠近电源设备
      切勿靠近易爆、有毒气体

4

抗震要求:使用耐震装置

B 设备要求:

5

电源

系统: 无

配件: • 100-240V 交流额定值,50/60 Hz
• 真空泵:AC115V/60HZ,14W,0.31A或AC230V/50/60HZ,15/14W,0.18/0.16A
• 空压机:220V/50HZ,额定电流2.8A,输出功率580W
• CCD:输入100-240V/50/60HZ,额定电流0.31A;输出12V/1.0A
• 显微镜光源:AC115/230AV,50/60HZ,200W

6

电脑

CCD图像显示需要提供电脑主机,USB接口需要支持2.0以上;或者提供带HDNI接口的显示屏。

7

压缩空气

空气要求

气压

露点

流量

连接器外径

洁净、干燥、无油
       (防震台用)

0.4-0.6 MPa (58-87 psi)

/

/

6mm

8

真空

/

<400mbar absolute,-610mbar gage

/

5 l/min(0.18 CFM)at SATP

6mm

C 运输和安装要求:

9外形尺寸物理尺寸(WxDxH)900mm宽*880mm长*800mm高(含显微镜)
屏蔽箱:1350mm长*900mm宽*1300mm高
防震桌:1200mm长*800mm宽*800mm高
货运尺寸(WxDxH)探针台及配件货箱:980 x 840 x 900mm
屏蔽箱货箱:1500 x 1050 x 1350mm
防震桌货箱:1200 x 810 x 720mm
10重量探针台重量200 kg
货运重量(带包装)探针台及配件货箱:230kg
屏蔽罩(带防震台):300 kg




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