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双面探针台DPW-1200

● X-Y travel coarse 300 mm x 300 mm 

● X-Y travel fine 10 mm x 10 mm (resolution < 1 µm)

● Z  up/down                    10 mm 

● Theta travel                    ± 7º 

● Planarity                         < ± 5µm 

● Z travel                           25mm 

● resolution                       < ± 1 µm 

双面探针台DPW-1200

Chuck Stage:

● X-Y travel coarse300 mm x 300 mm

● X-Y travel fine10 mm x 10 mm (resolution < 1 µm)

● Z  up/down                        10 mm

● Theta travel                        ± 7º

● Planarity                             < ± 5µm

Probe Platen Drive:

● Z travel                            25mm

● resolution                       < ± 1 µm

Manual Microscope(1000X OR100x option):

● Travel rangeX-Y-Z              50 mm x 50 mm x 50 mm

● Resolution                          <1um

Utilities:

● Power                                115/230 V, 50/60 Hz

● Vacuum                             -0.8 bar

● Compressed air                  4 bar

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