产品展示

6寸探针台PW-600

● Failure analysis 集成电路失效分析           

● Wafer level reliability 晶圆可靠性认证

● Device characterization 元器件特性量测     

● Process modeling 塑性过程测试(材料特性分析)

● IC Process monitoring 制程监控         

● Package part probing IC封装阶段打线品质测试

● ESD&TDR testing  ESD和TDR测试                      

● Microwave probing 微波量测(高频)

● Solar太阳能领域检测分析                              

● LED、OLED、LCD领域检测分析


6寸探针台PW-600

参数列表如下:

项 目

性能指标

备注

可测圆片尺寸

4,6 inch

 

X、Y工作台

行程

X/Y:6 inch x 6 inch

 

分辨率

1μm

 

控制

进口导轨

 

CHUCK

平面度

≤10μm

背面需要加电极(可选)

晶圆固定方式

真空吸附,分档控制

Chuck Z轴(可选)

行程

10mm

 

分辨率

1μm

 

Chuck θ轴(可选)

微调范围

±7 º (分辨率为0.1°)

 

Platen 平台

材料

非抛光型不锈钢+特种铝合金

 

容量

6-8个DC针座或者4个RF针座

 

微调旋钮

分辨率为1um 

移动范围为25mm 

导轨式移动

 

升降

8mm行程的升降抬杆,可锁定

重复度精度为±2um

 

上、下片

方式

手动

 

行程

90 mm

 

显微镜

配置

(1)体式显微镜 

      目镜:20X 

      变倍范围:0.75X-5X 

      总放大倍数:15x-100x

      LED 光源照明 

(2)金相显微镜

      目镜:20x 

      Zoom:1-2x 

      物镜:2x,10x,20x,50x 

      总放大倍数:20x-1000x 

      光纤光源系统

根据客户测试参数要求而定

行程

X/Y: 2 inch x 2inch (分辨率:1um) 

    Z: 2inch

 

抬起功能

显微镜可抬起,便于切换镜头。抬起后可以锁定,防止掉落。

 

屏蔽罩(可选)

L1350*W900*H1300mm

 

防震桌(可选)

W*D*H:1100*800*900mm


可选附件:

● 射频测试探头及电缆      ● 有源探头      ● 低电流/电容模块      ● 高压模块      ● 激光修复       ● 高清数字相机      ● 探针卡/封装/PCB板夹具      ● Hot Chuck

兼容测试仪器 :

● 各种型号示波器      ● 各种品牌型号的源表      ● 是德B1500、4155、4156      ● 泰克4200      ●各品牌的网络分析仪 


PW-600 探针台安装环境要求

A 操作环境要求:

1

环境温度:18-28°C

2

相关湿度:20%-60%

3

现场要求:水平地板且足够承受设备重量

                 较小的机械震动

                 通风良好且无阳光直射

                 靠近电源设备

                 切勿靠近易爆、有毒气体

B 设备要求:

4

电源

系统: 无

配件: • 220V 交流额定值,50Hz

           • 真空泵:220V/50HZ, 14W, 0.16A

           • 空压机:220V/50HZ,额定电流2.8A,输出功率580W

           • CCD:输入220V/50HZ,额定电流0.31A;输出12V/1.0A

           • 显微镜光源:220V, 50HZ, 200W


5

压缩空气

空气要求

气压

流量

连接器外径

洁净、干燥、无油(防震台用)

0.4-0.6 MPa (58-87 psi)

/

6mm

6

真空

/

<400mbar absolute,-610mbar gage

5 l/min(0.18 CFM)at SATP

6mm

C 运输和安装要求:

7

外形尺寸

物理尺寸(WxDxH)

515mm宽*585mm长*488mm高/515mm宽*585mm长*800mm高(含显微镜)

屏蔽箱:1350mm长*900mm宽*1300mm高

防震桌:1200mm长*800mm宽*800mm高

货运尺寸(WxDxH)

探针台及配件货箱:980 x 840 x 900mm

屏蔽箱货箱:1500 x 1050 x 1350mm

防震桌货箱:1200 x 810 x 720mm

8

重量

探针台重量

70kg

货运重量(带包装)

探针台及配件货箱:100 kg 

 屏蔽罩(带防震台):300 kg




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